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Optimal design and control of trichlorosilane purification process integrated with production of silane through dichlorosilane disproportionation

二氯硅烷三氯氢硅歧化硅烷生产（经济）工艺工程化学化学工程工程类制浆造纸工业有机化学催化作用硅经济宏观经济学

作者

Xiaole Wang,Xiaolong Ge,Botan Liu,Xigang Yuan

出处

期刊：Separation and Purification Technology [Elsevier BV]
日期：2025-05-08 卷期号：372: 133446-133446 被引量：2

标识

DOI：10.1016/j.seppur.2025.133446

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