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Influence of carbon incorporation on PECVD-deposited n+ polycrystalline silicon passivating contacts for high-efficiency solar cells

等离子体增强化学气相沉积 材料科学 硅 多晶硅 碳纤维 微晶 光电子学 纳米技术 冶金 复合材料 图层（电子） 薄膜晶体管 复合数
作者
Shuo Deng,Zunke Liu,Angus Gentle,Ruoyi Wang,Tanzeela Yousaf,Shona McNab,Jialiang Huang,Fiacre Rougieux,Yalun Cai,Yuhao Cheng,Udo Römer,Jan Seidel,Yuheng Zeng,Jichun Ye,Martin A. Green,Ning Song
出处
期刊：Solar Energy Materials and Solar Cells [Elsevier BV]
日期：2025-07-03 卷期号：292: 113824-113824
标识
DOI：10.1016/j.solmat.2025.113824
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