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IR-Fourier Spectroscopy of Attenuated Total Internal Reflection of Polyimide Films on Single-Crystal Silicon Wafers

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作者

В. С. Просолович,Д. И. Бринкевич,E. V. Grinyuk,С. Д. Бринкевич,Vladimir V. Kolos,O. A. Zubova,С. Б. Ластовский

出处

期刊：Journal of Applied Spectroscopy [Springer Science+Business Media]
日期：2024-05-01 卷期号：91 (2): 302-306 被引量：2

标识

DOI：10.1007/s10812-024-01721-z

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