Development of a dual heterodyne grating interferometer for four degree-of-freedom displacement and angular displacement measurements

光学 流离失所(心理学) 外差探测 物理 干涉测量 栅栏 重复性 调制(音乐) 频率调制 角位移 相位调制 外差(诗歌) 天文干涉仪 相(物质) 电容感应 解调 准确度和精密度 计量系统 分辨率(逻辑) 衍射光栅 混叠 群时延和相位时延 干扰(通信) 回复反射器
作者
Hung-Lin Hsieh,Shi-You Cai
出处
期刊:Optics and Laser Technology [Elsevier BV]
卷期号:193: 114314-114314
标识
DOI:10.1016/j.optlastec.2025.114314
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