One-step facile fabrication of controllable microcone and micromolar silicon arrays with tunable wettability by liquid-assisted femtosecond laser irradiation

微电子 飞秒 制作 材料科学 润湿 激光器 微流控 辐照 纳米技术 光电子学 光学 复合材料 病理 物理 核物理学 替代医学 医学
作者
Guoqiang Li,Zhen Zhang,Peichao Wu,Sizhu Wu,Yanlei Hu,Wulin Zhu,Jiawen Li,Dong Wu,Xiaohong Li,Jiaru Chu
出处
期刊:RSC Advances [Royal Society of Chemistry]
卷期号:6 (44): 37463-37471 被引量:34
标识
DOI:10.1039/c6ra06949e
摘要

Micro/nanostructured silicon surfaces are attracting more and more research attention because of the wide range of applications in optoelectronic devices, microelectronics, microfluidics, and biomedical devices.

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