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Investigation of thermal annealing on the characteristics of Sc Al1−N thin films

退火（玻璃） 材料科学 薄膜 热的 复合材料 纳米技术 热力学 物理
作者
Chao Gao,Yao Cai,Yang Zou,Binghui Lin,Tingting Yang,Yaxin Wang,Yan Liu,Shishang Guo,Chengliang Sun
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2023-10-12 卷期号：219: 112669-112669 被引量：9
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2023.112669
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