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High-aspect-ratio elliptical nanochannels for ultrafast laser stealth dicing of glass
作者
Rémi Meyer,
Remo Giust,
Maxime Jacquot,
Luca Furfaro,
John M. Dudley,
François Courvoisier
出处
期刊：
Le Centre pour la Communication Scientifique Directe - HAL - Diderot
[Centre National de la Recherche Scientifique]
日期：2018-06-25
链接
hal.science
archives-ouvertes.fr
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