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Multilayer Uniform Photoresist Coating on Silicon Wafers via Spin-Coupled Inkjet Printing

光刻胶薄脆饼材料科学图层（电子）喷墨打印旋涂硅光电子学丝网印刷涂层平版印刷术纳米技术复合材料墨水池

作者

Lei Zhang,Xiukun Wang,Miao Tao,Shenghua Guo,Tong Yubo

出处

期刊：IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2025-02-27 卷期号：15 (4): 821-829

标识

DOI：10.1109/tcpmt.2025.3546272

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