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作者
Nutcha Khambunkoed,Saowalak Homnan,Atcharawon Gardchareon,N Chattrapiban,Prayoon Songsiriritthigul,Duangmanee Wongratanaphisan,Pipat Ruankham
出处
期刊:Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
卷期号:136: 106151-106151 被引量:26
标识
DOI:10.1016/j.mssp.2021.106151

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