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作者

Nutcha Khambunkoed,Saowalak Homnan,Atcharawon Gardchareon,N Chattrapiban,Prayoon Songsiriritthigul,Duangmanee Wongratanaphisan,Pipat Ruankham

出处

期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2021-08-20 卷期号：136: 106151-106151 被引量：26

标识

DOI：10.1016/j.mssp.2021.106151

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