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Improved Performance of InGaAs/InAlAs Single Photon Avalanche Diode with Dual Multiplication Layers
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作者
Ping-Li Wu,
Yan-Min Liao,
Chi-En Chen,
Yu-Jie Teng,
Yu-Ying Hung,
Jin‐Wei Shi,
Yi-Shan Lee
链接
osapublishing.org
doi.org
标识
DOI：10.1364/sensors.2021.stu1b.4
摘要
The performance of InGaAs/InAlAs single photon avalanche diodes (SPAD) was improved with fabrication in triple mesa. Current SPADs achieve better dark count rate of 5 × 104 ⁄2 for single photon detection efficiency of 31% at RT.
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