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Reflectivity degradation of grazing-incident EUV mirrors by EUV exposure and carbon contamination

极紫外光刻 污染 降级（电信） 反射率 碳纤维 光学 材料科学 环境科学 极端紫外线 放牧 光电子学 物理 复合材料 生态学 激光器 生物 计算机科学 复合数 电信
作者
H. Shin,J. Sporre,R. Raju,D. N. Ruzic
出处
期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier]
日期：2008-11-10 卷期号：86 (1): 99-105 被引量：16
标识
DOI：10.1016/j.mee.2008.10.009
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