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Reflectivity degradation of grazing-incident EUV mirrors by EUV exposure and carbon contamination

极紫外光刻污染降级（电信）反射率碳纤维光学材料科学环境科学极端紫外线放牧光电子学物理复合材料生态学激光器生物计算机科学复合数电信

作者

H. Shin,J. Sporre,R. Raju,D. N. Ruzic

出处

期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier]
日期：2008-11-10 卷期号：86 (1): 99-105 被引量：16

标识

DOI：10.1016/j.mee.2008.10.009

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