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Preparation and characterization of non-reactive sputtered ultrathin TiN electrodes for HfO2-based ferroelectric capacitors

电容器锡铁电性材料科学表征（材料科学）电极铁电电容器光电子学纳米技术电气工程电压冶金化学电介质工程类物理化学

作者

Kun Chen,Jie Gao,Dan Zheng,Weidong Zhou,Hao Wang,Baoyuan Wang

出处

期刊：Journal of energy storage [Elsevier BV]
日期：2025-05-14 卷期号：125: 117029-117029 被引量：2

标识

DOI：10.1016/j.est.2025.117029

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