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Measurement of SiNx thin film thermal property with suspended membrane structure
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作者
Qinglin Song,
Zheng Cui,
Shanhong Xia,
Zhaofeng Chen,
Jiangang Zhang
出处
期刊:
Sensors and Actuators A-physical
[Elsevier BV]
日期:2004-02-27
卷期号:112 (1): 122-126
被引量:10
标识
DOI:10.1016/j.sna.2003.12.017
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