Ultralow-k nanoporous organosilicate dielectric films imprinted with dendritic spheres

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作者
Byeongdu Lee,Young-Hee Park,Yongtaek Hwang,Weontae Oh,Jinhwan Yoon,Moonhor Ree
出处
期刊:Nature Materials [Nature Portfolio]
卷期号:4 (2): 147-150 被引量:230
标识
DOI:10.1038/nmat1291
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