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作者
Marouan Khalifa,
Malek Atyaoui,
M. Hajji,
Rachid Ouertani,
Hatem Ezzaouia
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2013-07-19
卷期号：16 (6): 1742-1746
被引量：16
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2013.06.006
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