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Comparison of the Deposition Characteristics and Electrical Properties for La2O3, HfO2 and LHO Films
材料科学
沉积（地质）
地质学
沉积物
古生物学
作者
Woong-Sun Kim,
Sang-Kyun Park,
Dae-Yong Moon,
Tae-Sub Kim,
Byoung-Woo Kang,
Jin-Kyo Seo,
Heon-Do Kim,
Jong‐Wan Park
出处
期刊：
Journal of the Korean Physical Society
[Springer Science+Business Media]
日期：2008-12-15
卷期号：53 (6): 3334-3337
被引量：11
标识
DOI：10.3938/jkps.53.3334
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