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Design, Fabrication and Testing of MEMS based Piezoresistive Force Sensor for Human-Machine Interaction System in Biomedical Applications

压阻效应 微电子机械系统 制作 材料科学 纳米技术 光电子学 电子工程 机械工程 工程类 计算机科学 电气工程
作者
RS Divya,Ankur Verma,CK Subash,K.J Suja,Lintu Rajan
出处
期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
日期：2026-02-01 卷期号：: 117566-117566
标识
DOI：10.1016/j.sna.2026.117566
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