Discharge physics of high power impulse magnetron sputtering

高功率脉冲磁控溅射溅射氪氩等离子体电离原子物理学离子溅射沉积脉冲（物理）材料科学物理核物理学纳米技术薄膜量子力学

作者

André Anders

出处

期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2011-04-16 卷期号：205: S1-S9 被引量：7

链接

unt.edu unt.edu escholarship.org osti.gov escholarship.org escholarship.orgdoi.org

标识

DOI：10.1016/j.surfcoat.2011.03.081

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