Self-assembly and electron-beam-induced direct etching of suspended graphene nanostructures

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作者
Sarah Goler,Vincenzo Piazza,Stefano Roddaro,Vittorio Pellegrini,Fabio Beltram,Pasqualantonio Pingue
出处
期刊:Journal of Applied Physics [American Institute of Physics]
卷期号:110 (6): 064308- 被引量:18
标识
DOI:10.1063/1.3633260
摘要

We report on suspended single-layer graphene deposition by a transfer-printing approach based on polydimethylsiloxane stamps. The transfer printing method allows the exfoliation of graphite flakes from a bulk graphite sample and their residue-free deposition on a silicon dioxide substrate. This deposition system creates a “blistered” graphene surface due to strain induced by the transfer process itself. Single-layer-graphene deposition and its blistering on the substrate are demonstrated by a combination of Raman spectroscopy, scanning electron microscopy, and atomic-force microscopy measurements. Finally, we demonstrate that blister-like suspended graphene are self-supporting single-layer structures and can be flattened by employing a spatially resolved direct-lithography technique based on electron-beam induced etching.
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