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Oxygen scavenging of HfZrO 2 -based capacitors for improving ferroelectric properties

清除 电容器 铁电性 氧气 材料科学 光电子学 电气工程 化学 电介质 电压 工程类 有机化学 抗氧化剂
作者
Bong Ho Kim,Song‐Hyeon Kuk,Seong Kwang Kim,Seong Kwang Kim,Joon Pyo Kim,Dae‐Myeong Geum,Seung‐Hyub Baek,Sang Hyeon Kim,Sang Hyeon Kim
出处
期刊：Nanoscale advances [Royal Society of Chemistry]
日期：2022-01-01 卷期号：4 (19): 4114-4121 被引量：28
链接
rsc.org rsc.org nih.gov nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1039/d2na00533f
摘要
We demonstrate the successful remote oxygen scavenging of HZO-based capacitors, highlighting the significant enhancement of remanent polarization, switching voltage, endurance, and retention.
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