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Low-thermal-budget synthesis of monolayer molybdenum disulfide for silicon back-end-of-line integration on a 200 mm platform
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作者
Jiadi Zhu,
Ji Hoon Park,
Steven A. Vitale,
Wenjun Ge,
Gang Seob Jung,
Jiangtao Wang,
Mohamed Mokhtar Mohamed,
Tianyi Zhang,
Maitreyi Ashok,
Mantian Xue,
Xudong Zheng,
Zhien Wang,
Jonás Hansryd,
Anantha P. Chandrakasan,
Jing Kong,
Tomás Palacios
出处
期刊：
Nature Nanotechnology
[Nature Portfolio]
日期：2023-04-27
卷期号：18 (5): 456-463
被引量：239
链接
nih.gov
figshare.com
osti.gov
doi.org
标识
DOI：10.1038/s41565-023-01375-6
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