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Low-thermal-budget synthesis of monolayer molybdenum disulfide for silicon back-end-of-line integration on a 200 mm platform

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作者
Jiadi Zhu,Ji Hoon Park,Steven A. Vitale,Wenjun Ge,Gang Seob Jung,Jiangtao Wang,Mohamed Mokhtar Mohamed,Tianyi Zhang,Maitreyi Ashok,Mantian Xue,Xudong Zheng,Zhien Wang,Jonás Hansryd,Anantha P. Chandrakasan,Jing Kong,Tomás Palacios
出处
期刊：Nature Nanotechnology [Nature Portfolio]
日期：2023-04-27 卷期号：18 (5): 456-463 被引量：193
链接
nih.gov figshare.com osti.govdoi.org
标识
DOI：10.1038/s41565-023-01375-6
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