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Low-thermal-budget synthesis of monolayer molybdenum disulfide for silicon back-end-of-line integration on a 200 mm platform

材料科学 薄脆饼 硅 二硫化钼 单层 光电子学 纳米技术 化学气相沉积 生产线后端 CMOS芯片 复合材料 图层（电子）
作者
Jian‐Gang Zhu,Ji-Hoon Park,Steven A. Vitale,Wenjun Ge,Gang Seob Jung,Jiangtao Wang,Mohamed Mohamed,Tianyi Zhang,Maitreyi Ashok,Mantian Xue,Xudong Zheng,Zhien Wang,Jonas Hansryd,Anantha P. Chandrakasan,Jing Kong,Tomás Palacios
出处
期刊：Nature Nanotechnology [Springer Nature]
日期：2023-04-27 卷期号：18 (5): 456-463 被引量：45
链接
osti.gov nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1038/s41565-023-01375-6
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