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In-situ and ex-situ face-to-face annealing of epitaxial AlN

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作者
Merve Nur Koçak,Kağan Murat Pürlü,İzel Perkitel,İsmail Altuntaş,İlkay Demir
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2022-06-26 卷期号：203: 111284-111284 被引量：13
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2022.111284
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