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Superfilling When Adsorbed Accelerators Are Mobile
吸附促进剂可移动时的超填充
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吸附 铜互连 表面扩散 曲率 扩散 再分配(选举) 材料科学 沉积(地质) 化学物理 化学 纳米技术 物理 热力学 几何学 数学 冶金 地质学 物理化学 古生物学 沉积物 政治 政治学 法学
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DOI
10.1149/1.2434684 doi
其它 期刊:Journal of The Electrochemical Society
作者:Daniel Josell; Thomas P. Moffat; Daniel Wheeler
出版日期:2007-01-01
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