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Ferroelectric ScAlN: Epitaxy, Properties, and Emerging Photonic Device Applications
铁电ScAlN:外延、性质和新兴光子器件应用
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期刊:2022 IEEE Photonics Conference (IPC) 作者:Jiangnan Liu; Walter Shin; Ping Wang; Ding Wang; Mohammad Soltani; et al 出版日期:2022-11-01 |
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