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Ferroelectric ScAlN: Epitaxy, Properties, and Emerging Photonic Device Applications

铁电性 光电子学 蓝宝石 外延 材料科学 谐振器 基质（水族馆） 光子学 Q系数 光学 纳米技术 物理 电介质 激光器 海洋学 地质学 图层（电子）
作者
Jiangnan Liu,Walter Shin,Ping Wang,Ding Wang,Mohammad Soltani,Zetian Mi
标识
DOI：10.1109/ipc53466.2022.9975776
摘要
We report on the epitaxy and properties of ferroelectric ScAlN and further demonstrate ScAlN-based microring resonator device on sapphire substrate operating within the telecom window (1500 nm) with an intrinsic quality factor (Q-factor) of 5800.
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