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 Diamondlike carbon thin film fabrication by plasma-enhanced chemical vapor deposition using CH4/N2 gas mixtures for use as a hard mask 相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：J. Chong; R. F. Kopf; J.S. Kaufman; Chen Xu; M. Cappuzzo; et al 出版日期：2025-07-30 |
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