Chemical Probing of Water-Stable Methyl Species in Atomic Layer Deposition of Al2O3 from Trimethylaluminum and Water - 科研通

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标题	Chemical Probing of Water-Stable Methyl Species in Atomic Layer Deposition of Al2O3 from Trimethylaluminum and Water
网址	https://doi.org/10.1021/acs.jpcc.1c05889
DOI	10.1021/acs.jpcc.1c05889 doi
其它	期刊：The Journal of Physical Chemistry C 作者：Zhenyu Jin; Suhyun Lee; Seokhee Shin; Da-Som Shin; Hyeri Choi; Yo-Sep Min 出版日期：2021
求助人	小星在 2026-04-24 22:44:17 发布自四川，悬赏 10 积分
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