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Frequency-domain modeling-free learning control for wafer stages with transient improvement by adaption |
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期刊:Eighth International Workshop on Advanced Patterning Solutions (IWAPS 2024) 作者:Pengyu Sun; Fazhi Song; Yang Liu; Jiubin Tan; Yayi Wei; Tianchun Ye 出版日期:2024 |
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(2025-6-4)