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 Spatial atomic layer deposition: Performance of low temperature H2O and O3 oxidant chemistry for flexible electronics encapsulation 相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Philipp Maydannik; Alexander Plyushch; Mika Sillanpää; David Cameron 出版日期：2015-03-06 |
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