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  Hybrid method combining SEM and AFM in reference metrology for characterization of the instrument transfer function using CCS material measure 利用CCS材料测量表征仪器传递函数的参考计量中SEM和AFM的混合方法
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期刊：Measurement Sensors 作者：Ziyang Jiao; Tao Deng; Jan Thiesler; Detlef Bergmann; Rainer Tutsch; et al 出版日期：2025-01-01 |
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