Miniature Forming Lens for a High-Voltage Electron-Beam Lithography System

已完结

文献求助详情

标题	Miniature Forming Lens for a High-Voltage Electron-Beam Lithography System 相关领域电子束光刻光学轭（航空）镜头（地质） X射线光刻材料科学平版印刷术下一代光刻阴极射线光刻光掩模无光罩微影抵抗光电子学电子物理纳米技术工程类电气工程电传电报图层（电子）量子力学控制系统
网址	https://doi.org/10.1134/s1027451020060336
DOI	10.1134/s1027451020060336 doi
其它	期刊：Journal of Surface Investigation X-ray Synchrotron and Neutron Techniques 作者：V. V. Kazmiruk; I. G. Kurganov; T. N. Savitskaya 出版日期：2020-11-01
求助人	心灵美的翠在 2025-10-31 15:22:02 发布自北京，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

老实憨厚无套路，服务科研追梦人

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 1111111111111完成签到，获得积分10

1秒前; 平安完成签到，获得积分10

3秒前; nn关闭了nn的文献求助

4秒前; ccc完成签到，获得积分10

4秒前; MADAO完成签到，获得积分10

5秒前; 506407完成签到，获得积分10

8秒前; jichenzhang2024完成签到，获得积分10

10秒前; 量子星尘发布了新的文献求助10

12秒前; 肖慧强完成签到，获得积分10

16秒前; Orange的应助被科研通管家采纳，获得10

19秒前; 不倦的应助被科研通管家采纳，获得10

19秒前; 炙热的念柏的应助被科研通管家采纳，获得20

19秒前; 贝贝的应助被科研通管家采纳，获得150

19秒前; 不倦的应助被科研通管家采纳，获得30

19秒前; 科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得30

19秒前; 贝贝的应助被科研通管家采纳，获得150

20秒前; 不倦的应助被科研通管家采纳，获得10

20秒前; 老六爱偷袭老六的应助被科研通管家采纳，获得10

20秒前; 科研通管家关闭了量子星尘的文献求助

20秒前; 科研通管家关闭了量子星尘的文献求助

20秒前; 盟主完成签到，获得积分10

25秒前; 陈曦读研版完成签到，获得积分10

28秒前; long完成签到，获得积分10

29秒前; kkk完成签到，获得积分10

33秒前; 堆堆完成签到，获得积分10

33秒前; 漫天飞雪_寒江孤影完成签到，获得积分10

33秒前; 猪猪hero发布了新的文献求助10

38秒前; AskNature完成签到，获得积分10

38秒前; 风格完成签到，获得积分10

39秒前; 傻傻的尔蓝完成签到，获得积分10

40秒前; riccixuu完成签到，获得积分10

41秒前; nong12123完成签到，获得积分10

42秒前; yuancw完成签到，获得积分10

43秒前; SC完成签到，获得积分10

44秒前; Shell完成签到，获得积分10

45秒前; Neko的应助被归海浩阑采纳，获得50

45秒前; 健壮的思枫完成签到，获得积分10

45秒前; 量子星尘发布了新的文献求助10

47秒前; 不安访烟完成签到，获得积分10

47秒前; 麦璇完成签到，获得积分10

48秒前