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Crystalline Morphology of SiGe Films Grown on Si(110) Substrates 在Si(110)衬底上生长的SiGe薄膜的晶体形貌
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期刊:Journal of Electronic Materials 作者:Keisuke Arimoto; Chihiro Sakata; Kosuke O. Hara; Junji Yamanaka 出版日期:2023-04-28 |
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