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 Spectro-ellipsometric modeling and optimization of two-dimensional Ge layer and three-dimensional Ge dot/island structures on SiO2 substrates SiO2衬底上二维Ge层和三维Ge点/岛结构的椭圆偏振光谱建模与优化
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Housei Akazawa 出版日期：2020-12-15 |
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