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 Interpretation of hydrogen incorporation into radio frequency sputtered amorphous silicon based on Berg modelling 基于Berg模型的射频溅射非晶硅中氢掺入的解释
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期刊：Vacuum 作者：Nikolett Hegedüs; R. Lovics; M. Serényi; Z. Zolnai; P. Petrík; et al 出版日期：2022-05-10 |
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