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Thermal Characterization of $\hbox{Si}_{3}\hbox{N}_{4}$ Thin Films Using Transient Thermoreflectance Technique
用瞬态热反射技术表征$\hbox{Si}_{3}\hbox{N}_{4}$薄膜
相关领域
分析化学（期刊） 物理 材料科学 化学 有机化学
网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx5/41/5173586/04957065.pdf?...
DOI
10.1109/tie.2009.2022078 doi
其它 期刊：IEEE Transactions on Industrial Electronics
作者： Suyuan Bai; Zhenan Tang; Zhengxing Huang; Jun Yu
出版日期：2009-05-27
求助人
王木木 在 2025-07-28 18:43:42 发布自江苏，悬赏 10 积分
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