Zr-N films prepared by MW-ECR PE-UNB alanced magnetron sputtering: plasma diagnostics and structure evolution

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标题	Zr-N films prepared by MW-ECR PE-UNB alanced magnetron sputtering: plasma diagnostics and structure evolution MW-ECR PE-UNB磁控溅射制备Zr-N薄膜的等离子体诊断和结构演化相关领域电子回旋共振材料科学分析化学（期刊）溅射沉积微观结构无定形固体朗缪尔探针等离子体粒度溅射离子腔磁控管薄膜复合材料等离子体诊断结晶学化学纳米技术物理量子力学色谱法有机化学
网址	https://doi.org/10.7498/aps.54.3257
DOI	10.7498/aps.54.3257 doi
其它	期刊：Acta Physica Sinica 作者：Zhiguo Zhang; Tianwei Liu; Jun Xu; Deng Xinlu; Chuang Dong 出版日期：2005-01-01
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