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Analysis of pulsed direct current reactive magnetron sputtering on a silicon target 相关领域
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者:E. Terán-Hinojosa; R. Sanginés; N. Abundiz-Cisneros; J. Águila-Muñoz; R. Machorro-Mejía 出版日期:2024-09-24 |
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