| 标题 |
 High-pure AlN crystalline thin films deposited on GaN at low temperature by plasma-enhanced ALD 相关领域
材料科学
原子层沉积
钝化
氮化物
光电子学
氮化镓
薄膜
等离子体
蓝宝石
图层（电子）
氮化铝
铝
纳米技术
复合材料
光学
激光器
物理
量子力学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Vacuum 作者：Xiaohong Zeng; Ying Wu; Gaohang He; Wenqing Zhu; Sunan Ding; et al 出版日期：2023-04-23 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Kao
Copyright
GingerF
潇洒的惋清
魔法屎尿屁
学术文献互助
不潮薯饼
Zephyrite
无极微光
Oyama
More
Haiverxin
儒雅的板栗
称心妙竹
jenningseastera
Criminology34
学霸业
核桃
诚心香菇
Fellow_Lee
皖公网安备34019202002308
