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3D TSV hybrid pixel detector modules with ATLAS FE-I4 readout electronic chip
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深反应离子刻蚀 薄脆饼 通过硅通孔 材料科学 光电子学 炸薯条 倒装芯片 互连 探测器 电镀 蚀刻(微加工) 电气工程 图层(电子) 计算机科学 纳米技术 反应离子刻蚀 工程类 电信 胶粘剂
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DOI
10.1088/1748-0221/17/01/c01029 doi
其它 期刊:Journal of Instrumentation
作者:T. Fritzsch; Z. Hubáček; Piotr Mackowiak; Kai Zoschke; M. Rothermund; et al
出版日期:2022-01-01
求助人
傅雪冥 在 2026-01-09 15:00:11 发布自北京,悬赏 10 积分
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