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  Peculiarities of the Acoustic Wave Propagation in Diamond-Based Multilayer Piezoelectric Structures as “Me1/(Al,Sc)N/Me2/(100) Diamond/Me3” and “Me1/AlN/Me2/(100) Diamond/Me3” under Metal Thin-Film Deposition 金属薄膜沉积下“Me1/(Al，Sc)N/Me2/(100)Diamond/Me3”和“Me1/AlN/Me2/(100)Diamond/Me3”金刚石基多层压电结构中声波传播的特性
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期刊：Electronics 作者：Г. М. Квашнин; B. P. Sorokin; Nikita O. Asafiev; V.M. Prokhorov; A. V. Sotnikov 出版日期：2022-01-07 |
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