Numerical simulation and primary validation of ion-filtering capability of a dual grid installed in inductively coupled plasma

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标题	Numerical simulation and primary validation of ion-filtering capability of a dual grid installed in inductively coupled plasma
网址	https://doi.org/10.1088/2058-6272/ae6ec3
DOI	10.1088/2058-6272/ae6ec3 doi
其它	期刊：Plasma Science and Technology 作者：Xing-Cun Li; Li-Feng Liu; Jia-Wei Huang; Si-Yu Liu 出版日期：2026-05-15
求助人	小福在 2026-10-26 16:41:31 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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