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标题
Dynamics of plasma atomic layer etching: Molecular dynamics simulations and optical emission spectroscopy
网址
https://doi.org/10.1116/6.0003011
DOI
10.1116/6.0003011 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Joseph R. Vella; Qinzhen Hao; Vincent M. Donnelly; David B. Graves
出版日期：2023-11-13
求助人
Atlantis 在 2026-10-13 17:11:06 发布自上海，悬赏 10 积分
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