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标题
Degradation behaviors and mechanisms of perfluoroelastomers exposed to a high-temperature chlorine-containing environment for semiconductor dry etching equipment
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.polymdegradstab.2026.112322
DOI
10.1016/j.polymdegradstab.2026.112322 doi
其它 期刊：Polymer Degradation and Stability
作者：Fandi Meng; Xiaolong Wen; Shucheng Ren; Peng Sun; Tao Zhang; et al
出版日期：2026-10-01
求助人
danbi 在 2026-09-29 16:39:19 发布自上海，悬赏 10 积分
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  • 13小时前

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  • 13小时前

    danbi danbi Lv1 求助人 发起了本次求助

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