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标题
Microstructure and Thermal Stability of CuSiN Self--Aligned Layerin Advanced Copper Interconnect Multilayer Films
网址
https://www.semanticscholar.org/paper/648ebd94673b209e0026dc...
DOI
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其它 期刊：Acta Metallurgica Sinica
作者：L. Bo; Tan Wenjin; S. Zhongxiao; X. Kewei
出版日期：2007-11-11
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丰富硬币 在 2026-07-19 18:08:55 发布自上海，悬赏 10 积分
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  • 1个月前，求助关闭

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  • 1个月前

    丰富硬币 丰富硬币 Lv4 求助人 发起了本次求助

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