Increased Output-Pressure PMUTs with a Sloped Profile Fabricated via Surface Micromachining

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标题	Increased Output-Pressure PMUTs with a Sloped Profile Fabricated via Surface Micromachining
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/8580231/8597439/08597511...
DOI	10.1109/fcs.2018.8597511 doi
其它	期刊：2018 IEEE International Frequency Control Symposium (IFCS) 作者：G. Luo; Qi Wang; Y. Kusano; D. Horsley 出版日期：2018-05-01
求助人	Xianhao 在 2026-08-19 22:22:56 发布自浙江，悬赏 10 积分
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