Effect of Grain-Size Control on Mechanical and Optical Properties of ZrSi2 Membranes for Extreme Ultraviolet Pellicles

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标题	Effect of Grain-Size Control on Mechanical and Optical Properties of ZrSi2 Membranes for Extreme Ultraviolet Pellicles
网址	http://dx.doi.org/10.3390/cryst16020150
DOI	10.3390/cryst16020150 doi
其它	期刊：Crystals 作者：Won Jin Kim; Seong Ju Wi; Seungchan Moon; Junho Hong; Taeho Lee; et al 出版日期：2026-02-20
求助人	李元亨在 2026-07-24 14:44:38 发布自安徽，悬赏 10 积分
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