Reactive ion beam etching of ferroelectric materials using an RF inductively coupled ion beam source

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标题	Reactive ion beam etching of ferroelectric materials using an RF inductively coupled ion beam source
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx3/4659/13054/00598141.pdf?...
DOI	10.1109/isaf.1996.598141 doi
其它	期刊：ISAF '96. Proceedings of the Tenth IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics 作者：K. Williams; A. Hayes; S. DiStefano; O. Huang; E. Ostan 出版日期：2002-12-24
求助人	靓丽早晨在 2026-07-23 15:03:29 发布自山东，悬赏 10 积分
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