Additive chemistry and distributions in photoresist thin films

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标题	Additive chemistry and distributions in photoresist thin films 光刻胶薄膜中的添加剂化学及其分布相关领域光刻胶平版印刷术薄膜化学氩分析化学（期刊）质谱法离子光刻纳米技术材料科学光电子学有机化学色谱法图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1116/1.4943512
DOI	10.1116/1.4943512 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Michael B. Clark; Chang-Young Hong; James W. Thackeray 出版日期：2016-03-14
求助人	Moving_Dr 在 2025-05-05 21:02:41 发布自上海，悬赏 10 积分
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