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 Monolithic 3D Integration of InGaAs Photodetectors on Si MOSFETs Using Sequential Fabrication Process 使用顺序制造工艺在Si MOSFET上单片3D集成InGaAs光电探测器
相关领域
材料科学
光电子学
绝缘体上的硅
光电探测器
MOSFET
制作
晶体管
场效应晶体管
探测器
砷化铟镓
砷化镓
硅
电压
电气工程
工程类
病理
替代医学
医学
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期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：Dae-Myeong Geum; Seong Kwang Kim; Subin Lee; Donghwan Lim; Hyung-jun Kim; et al 出版日期：2020-01-17 |
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(2025-6-4)
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