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 Effect of NH3 flow on electrical and mechanical properties of ALD TiN thin films NH3流量对ALD TiN薄膜电学和力学性能的影响
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期刊：Materials Letters 作者：Hyunchol Cho; Ben Nie; Ajit Dhamdhere; Yifei Meng; Monica Neuburger; et al 出版日期：2021-05-15 |
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